Uamea ta'amilo fa'atatau
Fa'amatalaga o oloa
Uamea Rotary Target
O lo'o fa'aogaina malae maneta ma eletise i le va o le sputtering target (cathode) ma le anode.Ma faatumu le kasa inert manaʻomia (masani Ar gas) i le potu gaogao maualuga.I lalo o le gaioiga a se eletise eletise, Ar gas ua faʻapipiʻiina i ions lelei ma electrons.O loʻo faʻaaogaina se eletise maualuga le lelei i le taulaiga, o le eletise e tuʻuina atu e le taulaiga e aʻafia i le mageta, o le faʻaogaina o le faʻaogaina o le kesi galue e faʻatupulaia, o se plasma maualuga maualuga e fausia i tafatafa o le cathode, ma o Ar ion e aʻafia. e le malosi o Lorentz.Ona faatelevaveina lea e lele i luga o le sini, ma pomu i luga o le sini i luga o le saoasaoa maualuga, ina ia mulimulitaia e le sputtered atoms i luga o le sini le mataupu faavae o le liua malosi, lele mai le sini autu i le substrate, ma teu se ata malosi kinetic maualuga.
Ina ia faʻaleleia atili le faʻaogaina o le mea faʻatatau, o se cathode feʻaveaʻi ma maualuga le faʻaogaina lelei ua mamanuina, ma o se mea faʻapipiʻi faʻaogaina e faʻaaogaina mo le faʻafefe o le ufiufi.O le faʻaleleia atili o mea faʻapipiʻi e manaʻomia ai le suia o le sini mai se foliga mafolafola i se foliga tubular, ma o le fua faatatau o le faʻaogaina o le tubular rotating target e mafai ona maualuga e pei o le 70%, lea e tele lava ina foia le faafitauli o le maualalo o le faʻaogaina o le faʻaogaina mafolafola.
| igoa o oloa | Uamea ta'amilo fa'atatau |
| Meafaitino | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
| Tele fa'atauga vevela | ID-133/ OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855mm ID-160/OD-180x1800mm E mafai foi ona faʻatautaia e tusa ai ma manaoga faʻapitoa o tagata faʻatau |
| MOQ | 3 fasi |
| afifi | La'au pusa laupapa |
Fa'aaliga: E masani ona matou gaosia ni fa'ailoga u'amea eseese, fa'amolemole fa'afeso'ota'i matou mo fa'amatalaga.
Fa'atatauga
Sputtering coating o se ituaiga fou o auala faʻapipiʻi ausa faaletino.Pe a faʻatusatusa i le faʻaogaina o le faʻaogaina o le faʻaogaina, o loʻo i ai tulaga lelei
i le tele o itu.Ua fa'aaogaina fa'ailoga u'amea i le tele o matata.O le fa'aoga autu o le fa'ata'amilosaga fa'atatau.
■sela sola
■Fa'ata tioata
■tioata ta'avale
■Semiconductor
■TV lau mafolafola, ma isi
Fa'amatalaga oka
O su'esu'ega ma fa'atonuga e tatau ona aofia ai fa'amatalaga nei:
☑Fa'ailoga fa'atatau ID×OD×L (mm).
☑Aofa'i mana'omia.
☑Fa'amolemole fa'afeso'ota'i mai mo nisi mana'oga fa'apitoa.
